КОМПОЗИЦИОННЫЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СЛОИ С ОСТРОВКОВЫМИ НАНОСТРУКТУРАМИ ФЕРРОМАГНЕТИКОВ

<jats:p>Представлены результаты обзора источников информации по тематике датчиков магнитного поля на основе наноразмерных покрытий. Обоснован выбор материалов для создания спинтуннельного магниторезистивного датчика на многослойной пленке из чередующихся слоев мягких и жестких ферромагнетиков с промежуточными слоями оксидов. Показана схема работы спинтуннельного магниторезистивного датчика на основе композиционных слоев Ni/TiO2/Co. Проведен анализ способов нагрева подложки в процессе формирования композиционного слоя. Описано технологическое оборудование, метод и способ формирования композиционного слоя Ni/TiO2. Приведены результаты физического моделирования композиционного слоя Ni/TiO2, в результате которого определены геометрические параметры островкового слоя Ni. Показаны три основные зоны проводимости в композиционном слое Ni/TiO2. Проведено молекулярно-динамическое моделирование формирования композиционного слоя. Определены значения температуры подложки, обеспечивающие качественное формирование композиционного слоя Ni/TiO2.</jats:p>